闭管扩散要用石英管，这是由于石英管能耐1250℃左右的高温，而且在1800℃以上时会变得很柔软且很粘，能做成所需要的形状。另一方面，由于石英管采用的原料是特级水晶石，纯度高，含有害的杂质很少，对于扩散、配制合金等能保证质量，因此闭管扩散常采用石英管。

石英管的制备：根据扩散硅片直径的不同，来选择石英管的内径、壁厚等参数。

石英管大致可分为以下几种：透明石英管（外径1.5mm~300mm）、滤紫外石英管、彩色石英管等。

1、热稳定性好

石英玻璃的热膨胀系数极小，能承受剧烈的温度变化，将石英玻璃加热至1100℃左右，放入常温水中也不会炸裂。

2、透光性能好

石英玻璃在紫外线到红外线的整个光谱波段都有较好的透光性能，可见光透过率在93%以上，特别是在紫外光谱区，最大透过率可达80%以上。

3、电绝缘性能好

石英玻璃的电阻值相当于普通玻璃的一万倍，是极好的电绝缘材料，即使在高温下也具有良好的绝缘性能。

石英玻璃由于具有上述优良的理化性能，因此被广泛的应用于电光源、半导体、光通信、军工、冶金、建材、化学、机械、电力、环保等各个领域。

4、缺点：易碎。

1、耐高温

石英玻璃的软化点温度约1730℃，可在1100℃下长时间使用，短时间最高使用温度可达1450℃。

2、耐腐蚀

除氢氟酸外，石英玻璃几乎不与其他酸类物质发生化学反应，其耐酸能力是陶瓷的30倍，不锈钢的150倍，尤其是在高温下的化学稳定性，是其他任何工程材料都无法比拟的。

(1)检测石英管的阻值

石英管可以通过万用表检测其阻值，将万用表挡位调至“蜂鸣挡”，将红黑表笔分别搭在石英管的两端，如图1所示，此时万用表的蜂鸣器应当发出响声，并且指针应当指向零。若检测时，万用表蜂鸣器无声音发出，并且指针指向无穷大时，说明石英管的内部发生损坏。

(2)检测石英管的供电电压

检测石英管的供电电压时，首先将万用表的量程调至“交流250V”电压挡，红黑表笔分别搭在石英管的供电端，如图2所示。此时观察万用表的读数，若在交流220V左右，则说明石英管的供电电压正常。

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石英管电暖器的特点是外形小巧美观，热传递快，移动方便，价格便宜。但是它供热范围小，适用面积为10平方米左右的小房间，加热时产生光线，不宜在卧室使用。此外，由于电热丝易氧化等原因，石英管取暖器在市场上已不多见。