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▲ 多监控
可以对连续镀膜以自动或手动两种方式进行监控。
▲多源监测
可同时或分别监测二、四或六个沉积源。用户可根据实际需要进行选型。
▲系统接口
具有一组共二、四或六个输出接口,可分别控制二、四或六个源挡板。用户可根据实际需要
进行选型。
▲高精度
具有高速高精度测量系统,保证镀膜的质量和重复性。
▲数据存储
提供了较高的数据存储能力,可存储99个膜层,并内置256种材料参数方便用户使用。
▲中文界面
TDM-300膜层监控仪采用全中文人机操作界面,易于使用。
▲通用标准配置
有适配电缆,易于安装至现有的装置中,方便替换同类产品。
规格
测量
频率计算精度 0.1Hz/0.03Hz(在6.0MHz频率时)
频率显示精度 0.1Hz
测量速率 10Hz
显示
厚度显示 000000A~999999A
速率显示 000.0~999.9A/s
时间显示 00:00:00~23:59:59(时:分:秒)
层数 01~99层
图形显示 240x64LCD,低功耗LED背光(TDM-200 PRO)
320x240LCD,低功耗LED背光(TDM-300)
存储能力
层 99层
材料库 已定义256种材料
膜层参数
层次 01~99
终厚 000000~999999埃
材料 分子式
密度 00.00~99.99g/cm3
工具因子 00.00~99.99
Z因子 00.00~99.99
探头 A、B(C、D、E、F可选)
同步沉积 “否”或 “是” 系统参数
镀膜方式 “单层”、“多层”
控制方式 “手动”、“自动”
启动延迟 00:00~99:99(分:秒)
多通道方式 “独立”或“联合”
输出控制能力
源挡板数量 2、4或6个可选
(探头挡板可共用相应端口)
监控能力
源 2/4/6 (可选)
通讯接口 标配RS-232串型口
其它
供电要求 220V(±5%),50Hz,
功率<30W
工作温度 0℃~50℃
仪器尺寸 TDM-300:
89 x 484x330(高x宽x深)
TDM-300:
133.5x484x330(高x宽x深)
可用于19’标准工业机架。2100433B
TDM-300膜层监控仪适用于高频溅射、直流溅射、电阻蒸发、离子束、电子束等镀膜应用场合,可对共沉积镀膜进行多源同步监控,或对大面积镀膜进行多点监控。
仪器提供了完备的监测和控制功能, 具有高速高精度测量系统,保证镀膜的质量和重复性。通过液晶显示屏使您能连续获取沉积数据,包括沉积速率、厚度和晶片频率。更可通过计算机得到实时数据及动态和静态数据曲线,方便用户对工艺过程进行分析。
▲ 适用于多种镀膜应用
TDM-300膜层监控仪可对最多六个沉积源同时进行监控。既可应用于对大面积镀膜进行多点监控,监控镀膜均匀性;也可用于监控共沉积镀膜,而且用户可以编辑含有若干共沉积层和单一材料层的膜系;还能作为多台顺序沉积监控仪使用。
1、台面:石英石板材最广泛的应用是橱柜台面,洗手台面,柜台台面(银行、移动电信营业厅、收银台等),吧台(酒吧、西餐厅等),餐桌(如麦当劳和肯德基桌面) 2、墙面:淋浴...
石英晶体谐振器工作在 串联谐振频率 时的等效阻抗最小。详细介绍:当晶振不振动时,可把它看成一个平板电容器称为静电电容C,它的大小与晶片的几何尺寸、电极面积有关,一般约几个pF到几十pF。当晶体振荡时...
原理:石英晶体温度计是一种温度计。它的上部是一根玻璃管,下端是一个玻璃泡。在泡里和管的下端装有纯净的,管上标有刻度。由于人体温度最高不超过42℃,最低不低于35℃,所以体温表的刻度是35℃到42℃,每...
电清洗人造石英晶体技术的研究
该文采用电清洗技术研制出高稳定性,高可靠性,低腐蚀隧道密度的人造石英晶体。通过对电清洗工艺技术的研究,可将腐蚀隧道密度≤100条/cm2、Na+质量分数为2.33×10-6的石英晶体腐蚀隧道密度降低到≤10条/cm2,Na+质量分数减少到0.3×10-6。采用电清洗石英晶体技术研制出了腐蚀隧道密度≤3条/cm2,抗辐射性能提高2个数量级。
人造石英晶体中的缺陷—腐蚀隧道
人造石英晶体中的缺陷—腐蚀隧道
镀层膜厚仪,简称为,镀层厚度检测仪,是用来专业测量,金镍,铜厚,等,镀层的厚度的标准仪器。检测镀层厚度也有一定要求,镀层厚度要求分散能力是具有比较性质,其比较的基准是初次电流分布。镀层厚度要求在零件上均匀分布的能力越高,该电镀溶液的分散能力就越好。所谓整平能力(即微观分散能力)是指在底层上形成镀层时,镀液所具有的 ...
采用磁感应原理时,利用从测头经过非铁磁覆层而流入铁磁基体的磁通的
OU3100膜厚测试仪(2张) 大小,来测定覆层厚度。也可以测定与之对应的磁阻的大小,来表示其覆层厚度。覆层越厚,则磁阻越大,磁通越小。利用磁感应原理的测厚仪,原则上可以有导磁基体上的非导磁覆层厚度。一般要求基材导磁率在500以上。如果覆层材料也有磁性,则要求与基材的导磁率之差足够大(如钢上镀镍)。当软芯上绕着线圈的测头放在被测样本上时,仪器自动输出测试电流或测试信号。早期的产品采用指针式表头,测量感应电动势的大小,仪器将该信号放大后来指示覆层厚度。近年来的电路设计引入稳频、锁相、温度补偿等地新技术,利用磁阻来调制测量信号。还采用专利设计的集成电路,引入微机,使测量精度和重现性有了大幅度的提高(几乎达一个数量级)。现代的磁感应测厚仪,分辨率达到0.1um,允许误差达1%,量程达10mm。
磁性原理测厚仪可应用来精确测量钢铁表面的油漆层,瓷、搪瓷防护层,塑料、橡胶覆层,包括镍铬在内的各种有色金属电镀层,以及化工石油待业的各种防腐涂层。
监控仪灵敏度0.01 nm/s 单独控制蒸发速率。