A
偏铝酸:HAlO2
四羟基合铝(Ⅲ)酸:HAl(OH)4
砷酸:H3AsO4
偏亚砷酸:HAsO2
亚砷酸:H3AsO3
焦砷酸:H4As2O7
氯金酸:HAuCl4
B
硼酸:H3BO3
偏硼酸:(HBO2)n
四硼酸:H2B4O7(焦硼酸)
氟硼酸:HBF4
过硼酸:HBO3或HBO2·H2O2
十二钨硼酸:H5BW12O40
碳硼烷酸:H[CHB11Cl11]
溴酸:HBrO3
亚溴酸:HBrO2
次溴酸:HBrO或BrOH
高溴酸:HBrO4
氢溴酸:HBr
C
碳酸:H2CO3
原碳酸:H4CO4
过硫代碳酸:H2CS4
硫代碳酸:H2CS3
过二碳酸:H2C2O6
过碳酸:H2CO4或H2CO3·H2O2
碳硼烷酸:H[CHB11Cl11]
氯酸:HClO3
高氯酸:HClO4
亚氯酸:HClO2
次氯酸:HClO或ClOH
王水:浓HNO3与浓HCl以1∶3的体积比混合
钴酸:HCoO2
铬酸:H2CrO4
亚铬酸:HCrO2
重铬酸:H2Cr2O7
三铬酸:H2Cr3O10
四铬酸:H2Cr4O13
二氯合铜(Ⅰ)酸:H[CuCl2]
四羟基合铜(Ⅱ)酸:H2Cu(OH)4
CN
雷酸:HONC
氢氰酸:HCN
氰酸:HCNO或HOCN(可视为氧氰(OCN)2对应的酸)
异氰酸:HNCO
硒氰酸:HSeCN
硫氰酸:HSCN
F
氢氟酸:HF
铁酸:H3FeO3(氢氧化铁)
偏铁酸:HFeO2
亚铁酸:H4Fe(OH)6
高铁酸:H2FeO4
六羟基合铁(Ⅲ)酸:H3[Fe(OH)6]
G
锗酸:H4GeO4
I
碘酸:HIO3
次碘酸:HIO或IOH
偏高碘酸:HIO4 高碘酸:H5IO6或HIO4·2H2O或I2O7·5H2O
焦高碘酸:H4I2O9
氢碘酸:HI
M
高锰酸:HMnO4
锰酸:H2MnO4
钼酸:H2MoO4
二钼酸:H2Mo2O7
三钼酸:H2Mo3O10
七钼酸:H6Mo7O24
八钼酸:H4Mo8O26
十二钼酸:H10Mo12O41
磷钼酸:P2O5·24MoO3·3H2O
十二钼硅酸:H4SiMo12O40
N
硝酸:HNO3
亚硝酸:HNO2
氢叠氮酸:HN3
王水:浓HNO3与浓HCl以1∶3的体积比混合
镍酸:HNiO2
O
氟氧酸:HOF
过氧酸:H2O2(双氧水)
超氧酸:HO2
臭氧酸:HO3
锇酸:H4OsO6或OsO4·2H2O或H2[OsO4(OH)2]
P
磷酸:H3PO4
原磷酸:H5PO5
偏磷酸:(HPO3)n
亚磷酸:H3PO3
焦亚磷酸:H4P2O5
偏亚磷酸:HPO2
次磷酸:H3PO2
连二磷酸:H4P2O6
焦磷酸:H4P2O7
三磷酸:H5P3O10
磷钼酸:P2O5·24MoO3·3H2O
磷钨酸:H3PO40W12·xH2O
氟磷酸:HPF6
铅酸:H2PbO3
亚铅酸:H2PbO2
氟铅酸:H2PbF6
氯铅酸:H2PbCl6
氟铂酸:HPtF6
氯铂酸:H2PtCl6
氯亚铂酸:H2PtCl4
R
铼酸:H2ReO4
高铼酸:HReO4
S
硫酸:H2SO4
亚硫酸:H2SO3
氢硫酸:H2S
硫代硫酸:H2S2O3
焦硫酸:H2S2O7
次硫酸:H2SO2
连多硫酸:H2SxO6，x=2~6
原硫酸:H6SO6
连二亚硫酸:H2S2O4
过一硫酸:H2SO5(卡罗酸)
过二硫酸:H2S2O8
氯磺酸:HSO3Cl
氟磺酸:HSO3F
锑酸:H[Sb(OH)6]
亚锑酸:H3SbO3
氟锑酸:HSbF6
氟锑磺酸:SbF6SO3H或SbF5·HSO3F(俗称魔酸)
硒酸:H2SeO4
亚硒酸:H2SeO3
氢硒酸:H2Se
(偏)硅酸:H2SiO3或SiO2·H2O
原硅酸:H4SiO4
二偏硅酸: H2Si2O5或2SiO2·H2O
三硅酸:H4Si3O8
氟硅酸:H2SiF6
焦硅酸:H6Si2O7或2SiO2·3H2O
十二钼硅酸:H4SiMo12O40
锡酸:H2SnO3
亚锡酸:H2SnO2
T
碲酸:H6TeO6或Te(OH)6
氢碲酸:H2Te
亚碲酸:H2TeO3
钛酸:H4TiO4或TiO2·xH2O或Ti(OH)4
偏钛酸:H2TiO3
氟钛酸:H2TiF6
U
铀酸:H2UO4
V
钒酸:H3VO4
偏钒酸:HVO3
二钒酸:H4V2O7
三钒酸:H3V3O9
四钒酸:H6V4O13
五钒酸:H7V5O16
十钒酸:H6V10O28
W
钨酸:H2WO4
十二钨酸:H10W12O41
磷钨酸:H3PO40W12·xH2O
十二钨硼酸:H5BW12O40
X
氙酸:H2XeO4
高氙酸:H4XeO6
Z
锌酸:H2[Zn(OH)4]
-
无机酸缓蚀剂理化指标