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直线等离子体装置(LPD) 主要由:等离子体源(Plasma Generator,用于产生等离子体)、磁约束系统(Magnetic Confinement,用于约束和维持直线等离子体)、真空系统(Vacuum Pumps,用于产生所需真空及真空检测)、等离子体诊断系统(Diagnostics,用于测量所产生的等离子体参数)、以及电源和其他辅助系统等部分组成。各磁体可独立调整和控制,充分满足构建不同磁场的要求,提供足够的操控灵活性。 LPD是产生和维持直线段稳态等离子体,可用各种控制和诊断手段研究等离子体的各种输运过程、不稳定性和边界物理等;也可研究等离子体与材料的相互作用的基础问题,如材料的物。
等离子体密度(螺旋波天线源) 1011~1012cm-3 。(本次要求) 等离子体密度(LaB6离子源) 1012~1013cm-3 。(升级后要求) 束流密度(LaB6离子源,样品台中心直径1 cm内) ?1?1022m-2s-1 工作气压~0.1Pa时,本底真空度<10-6Pa 输运真空室长度2000mm,真空室内径=300mm 轴向磁场(直径ф=0.5Φ内)>2000G,磁场轴向均匀度(中间1m范围)≈5%,磁场径向均匀度(直径ф=0.5Φ内)≈5% 导线采用水冷铜导线,每线圈采用一根导线绕制而成;线圈内径:Φ?410mm 束流密度(LaB6离子源,样品台中心直径1 cm内) ?1?1022m-2s-1 LaB6等离子体源采用钨丝加热元件,低压电流≈100A,加热时LaB6阴极温度需至1600°C左右,充入工作气体到0.1?1Pa时,阴极与周围阳极间发生电弧放电产生等离子体,弧电压小于100V,电流安培量级 线圈用电源10台,每台10KW。 射频螺旋波天线电源一台,功率500?3000W可调。 样品台电源1台(300V,1A)。
等离子体聚合物在结构上与普通的聚合物显著不同,它能形成含有活性基团的高度交联的网络结构,从而具有良好的均匀性及对基质的附着性[1,2].有关采用等离子体聚合膜的TSM传感器的报道不多[3,4],本室已...
等离子体又叫做“电浆”,是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质 在人工生成等离子体的方法中,气体放电法比加热的办法更加简便高效,如荧光灯、霓虹灯、电弧焊、电晕放电...
低温等离子体:适合的应用材料的表面清洗活化焊接,油漆,打印,密封,起泡,涂覆及硅化前表面活化处理。气体裂解和高效灭菌加速化学反应产品特点:突破低气压限制,可在大气压下引发等离子体;可对材料连续在线处理...
双潘宁离子源等离子体发生器电源系统
针对强流双潘宁离子源等离子体发生器电源系统的特殊要求,介绍了灯丝电源和弧电源的组成及其作用,并对其主电路设计思路进行了相关的分析。离子源等离子体放电实验结果表明,该套等离子体电源系统达到了设计指标要求。
一种热等离子体发生器电源的研制
等离子体因其高温、高导热特性,对污染物有很高的处理效率,尤其是对难处理污染物及特殊要求污染物。直流拉弧放电是产生热等离子体的主要方法之一,通过高频变压器和电压电流反馈装置可得到满足电弧伏-安特性的直流大电流,由此可通过电弧放电获得稳定高效的等离子体源,在污染烟气处理等领域有良好的应用前景。本文通过利用IGBT逆变技术来获得适丁环保、焊接等应用的直流大电流,研制成能产生0~30A电流的直流等离子体发生器。
模拟聚变堆托卡马克边界等离子体放电参数,研究等离子体辐照对第一壁材料的辐照损伤效应。 2100433B
H、D、He等离子体放电,束流密度达到1022m-1s,离子能量小于150eV。
如果环境温度较低,等离子体能够通过辐射和热传导等方式向壁面传递能量,因此,要在实验室内保持等离子体状态,发生器供给的能量必须大于等离子体损失的能量。不少人工产生等离子体的方法(如爆炸法、激波法等)产生的等离子体状态只能持续很短时间(10~10秒左右),而有工业应用价值的等离子体状态则要维持较长时间(几分钟至几十小时)。能产生后一种等离子体的方法主要有:直流弧光放电法、交流工频放电法、高频感应放电法、低气压放电法(例如辉光放电法)和燃烧法。前四种放电都用电学手段获得,而燃烧则利用化学手段获得。
等离子体发生器的放电原理:利用外加电场或高频感应电场使气体导电,称为气体放电。气体放电是产生等离子体的重要手段之一。被外加电场加速的部分电离气体中的电子与中性分子碰撞,把从电场得到的能量传给气体。电子与中性分子的弹性碰撞导致分子动能增加,表现为温度升高;而非弹性碰撞则导致激发(分子或原子中的电子由低能级跃迁到高能级)、离解(分子分解为原子)或电离(分子或原子的外层电子由束缚态变为自由电子)。高温气体通过传导、对流和辐射把能量传给周围环境,在定常条件下,给定容积中的输入能量和损失能量相等。电子和重粒子(离子、分子和原子)间能量传递的速率与碰撞频率(单位时间内碰撞的次数)成正比。在稠密气体中,碰撞频繁,两类粒子的平均动能(即温度)很容易达到平衡,因此电子温度和气体温度大致相等,这是气压在一个大气压以上时的通常情况,一般称为热等离子体或平衡等离子体。在低气压条件下,碰撞很少,电子从电场得到的能量不容易传给重粒子,此时电子温度高于气体温度,通常称为冷等离子体或非平衡等离子体。两类等离子体各有特点和用途(见等离子体的工业应用)。气体放电分为直流放电和交流放电。