等离子体密度(螺旋波天线源) 1011~1012cm-3 。（本次要求） 等离子体密度(LaB6离子源) 1012~1013cm-3 。（升级后要求） 束流密度(LaB6离子源，样品台中心直径1 cm内) ？1？1022m-2s-1 工作气压~0.1Pa时，本底真空度<10-6Pa 输运真空室长度2000mm，真空室内径＝300mm 轴向磁场（直径ф=0.5Φ内）>2000G，磁场轴向均匀度（中间1m范围）≈5%，磁场径向均匀度（直径ф=0.5Φ内）≈5% 导线采用水冷铜导线，每线圈采用一根导线绕制而成；线圈内径：Φ？410mm 束流密度(LaB6离子源，样品台中心直径1 cm内) ？1？1022m-2s-1 LaB6等离子体源采用钨丝加热元件，低压电流≈100A，加热时LaB6阴极温度需至1600°C左右，充入工作气体到0.1？1Pa时，阴极与周围阳极间发生电弧放电产生等离子体，弧电压小于100V，电流安培量级 线圈用电源10台，每台10KW。 射频螺旋波天线电源一台，功率500？3000W可调。 样品台电源1台（300V，1A）。