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谐振式传感器
resonant sensor
这个概念我觉得看怎么理解了,这些传感器应该统属于光学传感器,你所说的三个概念相互之间都有交叉,光栅传感器里面包括,光纤光栅,透射体光栅等,也就是既有光纤的也有光电的,光纤传感器又分为功能型和非功能型,...
霍尔传感器是数字式传感器,有两根电源线,和一根信号线,如果外部有磁信号,信号线上面会有一个脉冲信号,速度与脉冲信号的个数成正比。磁电式传感器,无需外部供电,外部运动的磁铁会引起磁电式传感器内部的电磁线...
磁感应式传感器也称互感器,互感器利用电磁感应原理,即变化的磁场产生电场的原理。将两个线圈绕在同一个铁芯上,二次绕组感应出于一次绕组呈比例关系的电压或电流。因此,也有称互感原理或变压器原理。霍尔传感器是...
谐振式MEMS温度传感器设计
为了实现以频率输出为信号的气象温度测量,提出了一种基于双层悬臂梁的谐振式微温度传感器。基于双悬臂梁不同材料热膨胀系数的差异会导致悬臂梁谐振频率偏移的原理,采用压电方式同时实现悬臂梁的驱动及其谐振频率的检测,从而实现温度的测量。根据硅基传感器的正面腐蚀工艺,设计了谐振悬臂梁的双层结构,采用有限元方法分析了悬臂梁的谐振模态、可利用的振型及其温度与各模态谐振频率的关系,并利用多普勒振动系统对悬臂梁的谐振特性进行了研究。实验发现悬臂梁的二阶弯曲振型Q值相对于其它振型是最大的,其Q值约为150;高阶振型特别是二阶弯曲振型适合用于以ZnO为压电材料的温度传感器的频率检测,并且具有相对较高的灵敏度(约为20Hz/℃)和频率温度系数(1.9×10-4/℃)。结果表明,微型温度传感器能够满足气象温度检测的要求,并具有抗干扰能力强、灵敏度高、信号传输接口简单等优点。
简介
利用谐振元件把被测压力转换成频率信号的压力传感器。它是谐振式传感器的重要应用方面,主要有振弦式压力传感器(见振弦式传感器)、振筒式压力传感器(见振筒式传感器)、振膜式压力传感器(见振膜式传感器)和石英晶体谐振式压力传感器(见石英晶体谐振式传感器)。
谐振式传感器具有稳定性好,精度高、与微机接口方便等特点而倍受重视。我们采用微机械加工技术研制了微谐振器和谐振式压力传感器。其特点是用单晶硅梁做谐振器、梁厚仅数微米,用静电激励。其振动频率取决于器件设计、材料性能和梁的轴向应力,并受外界压力调制。研究工作包括器件设计;激振与拾振技术;关键工艺包括硅健合,薄梁制备技术和封装技术,并对样品进行了分析测试 。研究表明,用两端固支梁理论分析微谐振梁作为一阶近似是可行的。单晶梁的工艺难度大,但工艺上仍可行。传感器固有频率稳定;一般在一百千赫以上,空气中品质因数达数百;灵敏度高,当压力电O升到O·1MPa时,频移达十几千赫,是一种有前途的新型传感器。 2100433B
金属材料和其它应用场合常使用标称频率150KHz的谐振式窄带声发射传感器,来测量工程材料的声发射信号,采用计数、幅度、上升数据、持续数据、能量这些传统的声发射参数。窄带谐振式声发射传感器灵敏度较高并且有很高的信噪比,价格便宜,规格多,如在知晓声源传播基本特性、想获取某一频带范围的AE信号来进行处理或想提高系统灵敏度,选择合适型号的谐振式声发射传感器比较好,如声源定位。应当指出所谓谐振式窄带声发射传感器并不是只对某频率信号敏感,而是对某频率带信号敏感,其它频率带信号灵敏度较低。