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掩模保护膜

掩模保护膜是蒙贴在铝合金框架上的一层透明薄膜,防止灰尘掉落在掩模有图形的一侧。有了这个薄膜的保护,灰尘颗粒只能掉落在掩模版玻璃的一侧或保护膜上。

掩模保护膜基本信息

掩模保护膜简介

由于玻璃基板的厚度和保护膜距离基板的距离相近,均为6mm左右,所以这些吸附在掩模上的颗粒距离掩模图形面(Cr面)的距离都在6mm左右。现代投影式光刻机的聚焦深度(DOF)最多也就是在1~2um,这远小于6mm。因此,在曝光时,这些附着在玻璃和保护膜上的颗粒,只能在晶圆表面形成一个非常模糊的像,对局部的光强产生的干扰很小。只有当这些颗粒的尺寸大到一定程度时,其在晶圆上产生的阴影才可能在光刻胶上留下图形。图1是吸附在Cr图形上的颗粒与吸附在保护膜上的颗粒成像的对比示意图 。

图1 在Cr图形上的颗粒与吸附在保护膜上的颗粒成像对比示意图

掩模保护膜使光透过率减少,并使成像变得更加模糊,如图2所示 :

理论计算表明,只要这些颗粒和模版上Cr图形之间的距离(即掩模的厚度或保护膜的高度)大于t,它们对局部光强的影响就不会超过10%。t定义为

式中,M是光刻系统成像的倍数,对于现代光刻机M=4;d是颗粒的直径。前面已经介绍了t6mm,假设光刻机的数值孔径NA=0.5,据此,我们可以估算出掩模上所允许的最大的颗粒尺寸,d0.18mm。

G-线和Ⅰ-线掩模版所使用的保护膜是高分子量的硝化纤维树脂(high-molecular-weight nitrocellulose polymers)。硝化纤维树脂薄膜的制备工艺如下:首先把硝化纤维树脂的溶液旋涂在平整的玻璃表面;在适当的温度烘干后,把薄膜从玻璃表面揭下。最后把薄膜切割成所需要的尺寸。但是,硝化纤维树脂在DUV波段有较高的吸收系数,因此不能用于248nm。和193nm波长。248nm和193nm保护膜的材质一般是含F的树脂(amorphous fluoropolymers),例如,聚四氟乙烯(teflon)。保护膜的厚度一般在1um左右,可以针对不同的波长做进一步优化。对保护膜材质的要求除了必须具有很高的透明度外,在光照下还不能释放对掩模有害的气体成分。新型保护膜材料还在不断研发中,研发的方向就是含F的聚合物 。

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掩模保护膜造价信息

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保护膜

  • 规格mm:55公分宽;备注:美纹纸带保护膜25m(喷漆保护膜);
  • 优质
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  • 河南和勒商贸有限公司
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保护膜

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保护膜

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  • 河南和勒商贸有限公司
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保护膜

  • 品种:保护膜;规格:55cm;产地:银川;
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  • 13%
  • 宁夏韬铂贸易有限公司
  • 2022-12-06
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保护膜

  • PE-21说明:喷砂铝面板、pvc装饰;颜色:透明或乳白色;品种:塑料薄;
  • 乾运
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  • 种草用
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  • 种草用,可降解,厚度0.01~0.015mm
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  • 水利工程
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  • 种草用
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  • 水利工程
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PE保护膜

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  • 2500m²
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  • 2010-12-08
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PE保护膜

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  • 1
  • 不含税费 | 不含运费
  • 2010-08-02
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透明玻璃保护膜

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  • 2020-07-06
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PVC保护膜

  • 底面加棉
  • 2000m²
  • 1
  • 中档
  • 含税费 | 含运费
  • 2021-10-25
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保护膜

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  • 993kg
  • 1
  • 盈信
  • 中档
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  • 2015-12-31
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掩模保护膜常见问题

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掩模保护膜文献

手机保护膜检验规范钢化膜PET保护膜 手机保护膜检验规范钢化膜PET保护膜

手机保护膜检验规范钢化膜PET保护膜

格式:pdf

大小:966KB

页数: 4页

1 1手机保护膜外观检验标准 (钢化膜 ) 检验项目 检验要求及判定标准 检验方法 缺陷等级 Cri Maj Min 包装防护 1. 外包装箱无破损,变形。 2. 外包装箱外规格型号,物料代码,数量无标示或标示 不完整或标示错误; 3. 未使用规定的材料包装或严重破损,脏污,对产品有 影响; 4. 膜及所有辅料配件不可装错,也不可漏装或多装。 以上情况不接受 目视 √ 杂色点 流纹,杂色点,不接受 √ 刮伤 产品表面不允许有刮伤 √ 缺损 产品不可有碎裂,崩边,缺损 √ 尘点 使用层膜不允许有尘点 √ 麻点 橘子皮(麻点) :不接受 √ 脏污 产品表面不得有脏污,指纹,手印,用白电油及酒精擦 拭后,不得有明显的擦拭痕迹。 √ AB胶 AB胶不可贴反 √ 气泡 气泡:不接受 √ ①标 标签不可贴反,不可漏贴 √ 试贴 产品试贴后不得有波纹,锯齿 / 线状白痕,雪花点等外 观不良现象 (

幕墙型材保护膜 幕墙型材保护膜

幕墙型材保护膜

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大小:966KB

页数: 未知

由福建师范大学和厦门美嘉杰环保建材有限公司共同研制成功的幕墙型材保护膜已通过福建省教育厅组织的技术鉴定,并在厦门获得成功推广。

光刻掩模光刻掩模制作

在平面晶体管和集成电路的制造过程中,要进行多次光刻。为此,必须制备一组具有特定几何图形的光刻掩模。制版的任务就是根据晶体管和集成电路参数所要求的几何图形,按照选定的方法,制备出生产上所要求的尺寸和精度的掩模图案,并以一定的间距和布局,将图案重复排列于掩模基片上,进而复制批量生产用版,供光刻工艺曝光之用。

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相关掩模技术简介

宋体]相关掩模技术,是指利用遥感影像拷贝产生的许多彼此能精确重叠的正负片,通过不同组合及相互叠掩的方法,进行影像反差调整、边缘增强等摄影处理的技术。2100433B

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薄膜型掩模版特点

旦晶圆片空白基板完成后,就必须做好掩模 。一个典型的薄膜掩模制造的附加程序为:一层薄的钽/金电镀基底淀积在做好的空白基板上,而且一层厚的模板胶被旋涂覆并烘烤。薄的铬层被淀积在模板胶上,再涂上光刻胶。

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