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由于玻璃基板的厚度和保护膜距离基板的距离相近,均为6mm左右,所以这些吸附在掩模上的颗粒距离掩模图形面(Cr面)的距离都在6mm左右。现代投影式光刻机的聚焦深度(DOF)最多也就是在1~2um,这远小于6mm。因此,在曝光时,这些附着在玻璃和保护膜上的颗粒,只能在晶圆表面形成一个非常模糊的像,对局部的光强产生的干扰很小。只有当这些颗粒的尺寸大到一定程度时,其在晶圆上产生的阴影才可能在光刻胶上留下图形。图1是吸附在Cr图形上的颗粒与吸附在保护膜上的颗粒成像的对比示意图 。
图1 在Cr图形上的颗粒与吸附在保护膜上的颗粒成像对比示意图
掩模保护膜使光透过率减少,并使成像变得更加模糊,如图2所示 :
理论计算表明,只要这些颗粒和模版上Cr图形之间的距离(即掩模的厚度或保护膜的高度)大于t,它们对局部光强的影响就不会超过10%。t定义为
式中,M是光刻系统成像的倍数,对于现代光刻机M=4;d是颗粒的直径。前面已经介绍了t6mm,假设光刻机的数值孔径NA=0.5,据此,我们可以估算出掩模上所允许的最大的颗粒尺寸,d0.18mm。
G-线和Ⅰ-线掩模版所使用的保护膜是高分子量的硝化纤维树脂(high-molecular-weight nitrocellulose polymers)。硝化纤维树脂薄膜的制备工艺如下:首先把硝化纤维树脂的溶液旋涂在平整的玻璃表面;在适当的温度烘干后,把薄膜从玻璃表面揭下。最后把薄膜切割成所需要的尺寸。但是,硝化纤维树脂在DUV波段有较高的吸收系数,因此不能用于248nm。和193nm波长。248nm和193nm保护膜的材质一般是含F的树脂(amorphous fluoropolymers),例如,聚四氟乙烯(teflon)。保护膜的厚度一般在1um左右,可以针对不同的波长做进一步优化。对保护膜材质的要求除了必须具有很高的透明度外,在光照下还不能释放对掩模有害的气体成分。新型保护膜材料还在不断研发中,研发的方向就是含F的聚合物 。
光膜光线照射发生反射,有类似镜面的作用,亚光膜光线发生漫反射。亚光的给人以高档感。缺点是时间长后容易显旧,光膜可以最大的保持版面的新鲜。这个没有讲究说用哪个更好哪个不好的。
LDPE(中文名:低密度高压聚乙烯) 感官鉴别:手感柔软;白色透明,但透明度一般,常有胶带及印刷字。(注:胶带和印刷字是不可避免的,但一定要控制其含量,因这些会影响在市场上的价格)燃烧鉴别:燃烧火焰上...
你是指塑胶原料么。是的话,可以追问。这里给电话会的
手机保护膜检验规范钢化膜PET保护膜
1 1手机保护膜外观检验标准 (钢化膜 ) 检验项目 检验要求及判定标准 检验方法 缺陷等级 Cri Maj Min 包装防护 1. 外包装箱无破损,变形。 2. 外包装箱外规格型号,物料代码,数量无标示或标示 不完整或标示错误; 3. 未使用规定的材料包装或严重破损,脏污,对产品有 影响; 4. 膜及所有辅料配件不可装错,也不可漏装或多装。 以上情况不接受 目视 √ 杂色点 流纹,杂色点,不接受 √ 刮伤 产品表面不允许有刮伤 √ 缺损 产品不可有碎裂,崩边,缺损 √ 尘点 使用层膜不允许有尘点 √ 麻点 橘子皮(麻点) :不接受 √ 脏污 产品表面不得有脏污,指纹,手印,用白电油及酒精擦 拭后,不得有明显的擦拭痕迹。 √ AB胶 AB胶不可贴反 √ 气泡 气泡:不接受 √ ①标 标签不可贴反,不可漏贴 √ 试贴 产品试贴后不得有波纹,锯齿 / 线状白痕,雪花点等外 观不良现象 (
在平面晶体管和集成电路的制造过程中,要进行多次光刻。为此,必须制备一组具有特定几何图形的光刻掩模。制版的任务就是根据晶体管和集成电路参数所要求的几何图形,按照选定的方法,制备出生产上所要求的尺寸和精度的掩模图案,并以一定的间距和布局,将图案重复排列于掩模基片上,进而复制批量生产用版,供光刻工艺曝光之用。
宋体]相关掩模技术,是指利用遥感影像拷贝产生的许多彼此能精确重叠的正负片,通过不同组合及相互叠掩的方法,进行影像反差调整、边缘增强等摄影处理的技术。2100433B
旦晶圆片空白基板完成后,就必须做好掩模 。一个典型的薄膜掩模制造的附加程序为:一层薄的钽/金电镀基底淀积在做好的空白基板上,而且一层厚的模板胶被旋涂覆并烘烤。薄的铬层被淀积在模板胶上,再涂上光刻胶。