王青

太阳能电池片的生产工艺流程分为硅片检测——表面制绒及酸洗——扩散制结——去磷硅玻璃——等离子刻蚀及酸洗——镀减反射膜——丝网印刷——快速烧结等。具体介绍如下：

一、硅片检测

硅片是太阳能电池片的载体，硅片质量的好坏直接决定了太阳能电池片转换效率的高低，因此需要对来料硅片进行检测。该工序主要用来对硅片的一些技术参数进行在线测量，这些参数主要包括硅片表面不平整度、少子寿命、电阻率、P/N型和微裂纹等。该组设备分自动上下料、硅片传输、系统整合部分和四个检测模块。其中，光伏硅片检测仪对硅片表面不平整度进行检测,同时检测硅片的尺寸和对角线等外观参数;微裂纹检测模块用来检测硅片的内部微裂纹;另外还有两个检测模组，其中一个在线测试模组主要测试硅片体电阻率和硅片类型，另一个模块用于检测硅片的少子寿命。在进行少子寿命和电阻率检测之前，需要先对硅片的对角线、微裂纹进行检测，并自动剔除破损硅片。硅片检测设备能够自动装片和卸片，并且能够将不合格品放到固定位置，从而提高检测精度和效率。

二、表面制绒

单晶硅绒面的制备是利用硅的各向异性腐蚀，在每平方厘米硅表面形成几百万个四面方锥体也即金字塔结构。由于入射光在表面的多次反射和折射，增加了光的吸收，提高了电池的短路电流和转换效率。硅的各向异性腐蚀液通常用热的碱性溶液，可用的碱有氢氧化钠，氢氧化钾、氢氧化锂和乙二胺等。大多使用廉价的浓度约为1%的氢氧化钠稀溶液来制备绒面硅，腐蚀温度为70-85℃。为了获得均匀的绒面，还应在溶液中酌量添加醇类如乙醇和异丙醇等作为络合剂，以加快硅的腐蚀。制备绒面前，硅片须先进行初步表面腐蚀，用碱性或酸性腐蚀液蚀去约20～25μm，在腐蚀绒面后，进行一般的化学清洗。经过表面准备的硅片都不宜在水中久存，以防沾污，应尽快扩散制结。

三、扩散制结

太阳能电池需要一个大面积的PN结以实现光能到电能的转换，而扩散炉即为制造太阳能电池PN结的专用设备。管式扩散炉主要由石英舟的上下载部分、废气室、炉体部分和气柜部分等四大部分组成。扩散一般用三氯氧磷液态源作为扩散源。把P型硅片放在管式扩散炉的石英容器内，在850---900摄氏度高温下使用氮气将三氯氧磷带入石英容器，通过三氯氧磷和硅片进行反应，得到磷原子。经过一定时间，磷原子从四周进入硅片的表面层，并且通过硅原子之间的空隙向硅片内部渗透扩散，形成了N型半导体和P型半导体的交界面，也就是PN结。这种方法制出的PN结均匀性好,方块电阻的不均匀性小于百分之十,少子寿命可大于10ms。制造PN结是太阳电池生产最基本也是最关键的工序。因为正是PN结的形成，才使电子和空穴在流动后不再回到原处，这样就形成了电流，用导线将电流引出，就是直流电。

四、去磷硅玻璃

该工艺用于太阳能电池片生产制造过程中，通过化学腐蚀法也即把硅片放在氢氟酸溶液中浸泡，使其产生化学反应生成可溶性的络和物六氟硅酸，以去除扩散制结后在硅片表面形成的一层磷硅玻璃。在扩散过程中，POCL3与O2反应生成P2O5淀积在硅片表面。P2O5与Si反应又生成SiO2和磷原子，

这样就在硅片表面形成一层含有磷元素的SiO2，称之为磷硅玻璃。去磷硅玻璃的设备一般由本体、清洗槽、伺服驱动系统、机械臂、电气控制系统和自动配酸系统等部分组成，主要动力源有氢氟酸、氮气、压缩空气、纯水，热排风和废水。氢氟酸能够溶解二氧化硅是因为氢氟酸与二氧化硅反应生成易挥发的四氟化硅气体。若氢氟酸过量，反应生成的四氟化硅会进一步与氢氟酸反应生成可溶性的络和物六氟硅酸。

五、等离子刻蚀

由于在扩散过程中，即使采用背靠背扩散，硅片的所有表面包括边缘都将不可避免地扩散上磷。PN结的正面所收集到的光生电子会沿着边缘扩散有磷的区域流到PN结的背面，而造成短路。因此，必须对太阳能电池周边的掺杂硅进行刻蚀，以去除电池边缘的PN结。通常采用等离子刻蚀技术完成这一工艺。等离子刻蚀是在低压状态下，反应气体CF4的母体分子在射频功率的激发下，产生电离并形成等离子体。等离子体是由带电的电子和离子组成，反应腔体中的气体在电子的撞击下，除了转变成离子外，还能吸收能量并形成大量的活性基团。活性反应基团由于扩散或者在电场作用下到达SiO2表面，在那里与被刻蚀材料表面发生化学反应，并形成挥发性的反应生成物脱离被刻蚀物质表面，被真空系统抽出腔体。

六、镀减反射膜

抛光硅表面的反射率为35%,为了减少表面反射,提高电池的转换效率,需要沉积一层氮化硅减反射膜。工业生产中常采用PECVD设备制备减反射膜。PECVD即等离子增强型化学气相沉积。它的技术原理是利用低温等离子体作能量源，样品置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电使样品升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体SiH4和NH3，气体经一系列化学反应和等离子体反应，在样品表面形成固态薄膜即氮化硅薄膜。一般情况下，使用这种等离子增强型化学气相沉积的方法沉积的薄膜厚度在70nm左右。这样厚度的薄膜具有光学的功能性。利用薄膜干涉原理，可以使光的反射大为减少，电池的短路电流和输出就有很大增加，效率也有相当的提高。

七、丝网印刷

太阳电池经过制绒、扩散及PECVD等工序后，已经制成PN结，可以在光照下产生电流，为了将产生的电流导出，需要在电池表面上制作正、负两个电极。制造电极的方法很多，而丝网印刷是制作太阳电池电极最普遍的一种生产工艺。丝网印刷是采用压印的方式将预定的图形印刷在基板上，该设备由电池背面银铝浆印刷、电池背面铝浆印刷和电池正面银浆印刷三部分组成。其工作原理为：利用丝网图形部分网孔透过浆料，用刮刀在丝网的浆料部位施加一定压力，同时朝丝网另一端移动。油墨在移动中被刮刀从图形部分的网孔中挤压到基片上。由于浆料的粘性作用使印迹固着在一定范围内，印刷中刮板始终与丝网印版和基片呈线性接触，接触线随刮刀移动而移动，从而完成印刷行程。

八、快速烧结

经过丝网印刷后的硅片，不能直接使用，需经烧结炉快速烧结，将有机树脂粘合剂燃烧掉，剩下几乎纯粹的、由于玻璃质作用而密合在硅片上的银电极。当银电极和晶体硅在温度达到共晶温度时，晶体硅原子以一定的比例融入到熔融的银电极材料中去，从而形成上下电极的欧姆接触，提高电池片的开路电压和填充因子两个关键参数，使其具有电阻特性，以提高电池片的转换效率。

烧结炉分为预烧结、烧结、降温冷却三个阶段。预烧结阶段目的是使浆料中的高分子粘合剂分解、燃烧掉，此阶段温度慢慢上升;烧结阶段中烧结体内完成各种物理化学反应，形成电阻膜结构，使其真正具有电阻特性，该阶段温度达到峰值;降温冷却阶段，玻璃冷却硬化并凝固，使电阻膜结构固定地粘附于基片上。

九、外围设备

在电池片生产过程中，还需要供电、动力、给水、排水、暖通、真空、特汽等外围设施。消防和环保设备对于保证安全和持续发展也显得尤为重要。一条年产50MW能力的太阳能电池片生产线，仅工艺和动力设备用电功率就在1800KW左右。工艺纯水的用量在每小时15吨左右，水质要求达到中国电子级水GB/T11446.1-1997中EW-1级技术标准。工艺冷却水用量也在每小时15吨左右，水质中微粒粒径不宜大于10微米，供水温度宜在15-20℃。真空排气量在300M3/H左右。同时，还需要大约氮气储罐20立方米，氧气储罐10立方米。考虑到特殊气体如硅烷的安全因素，还需要单独设置一个特气间，以绝对保证生产安全。另外，硅烷燃烧塔、污水处理站等也是电池片生产的必备设施。

一种筒节斜底罐车罐体的制造工艺专利目的

《一种筒节斜底罐车罐体的制造工艺》的目的在于提供一种筒节斜底罐车罐体的制造工艺，其解决了背景技术中罐体整体成形质量差，切割质量差，焊接质量不易保证的技术问题。

一种筒节斜底罐车罐体的制造工艺技术方案

一种筒节斜底罐车的制造工艺，其特征在于，该制造工艺包括以下步骤：

1）滚制筒节圆锥体

1.1）取两张正圆锥展开的板料，分别用滚圆机滚制弯曲成型，再对筒节纵缝焊接，得第一节圆锥台形筒节和第二节圆锥台形筒节[0014]所述第一、第二圆锥台形筒节的圆锥体均为正圆锥体，其斜度相同，所述第二圆锥台形筒节的圆锥台体的顶面第一圆锥台形筒节的圆锥台体的底面的直径相同；

1.2）取一张正圆锥斜截展开的板料，用滚圆机滚制弯曲成型，再对筒节纵缝焊接，得第三直角斜锥体筒节；

所述第三直角斜锥体筒节的圆锥体的顶面与第二圆锥台形筒节的圆锥体的底面直径相同；

2）组对筒节圆锥体

2.1）先把第一圆锥台形筒节圆锥台体的顶面与一个罐体封头用筒节组对装置组对，并使第一圆锥台形筒节圆锥台体的中心线与罐体封头的中心线重合，再对内、外纵环缝焊接；

2.2）再把第一圆锥台形筒节圆锥体的底面与第二圆锥台形筒节圆锥体的顶面用筒节组对装置组对，并使第一圆锥台形筒节圆锥体的中心线与第二圆锥台形筒节圆锥体的中心线重合，再对内、外纵环缝焊接；

2.3）最后再把第二圆锥台形筒节圆锥体的底面与第三直角斜锥体筒节圆锥体的顶面用筒节组对装置组对，并使第二圆锥台形筒节圆锥体的中心线与第三直角斜锥筒节圆锥体的中心线重合，再对内、外纵环缝焊接，得一个半罐体；

3）形成罐体

将两个半罐体的第三筒节圆锥体的底面用固定对口机组对，并使两个半罐体的中心线重合，再对内、外纵环缝焊接，形成罐体。

上述步骤2）中还包括筒节圆锥体定位步骤，其中筒节圆锥体定位步骤具体包括：

1）筒节圆锥体纵向定位

筒节圆锥体按顺序由生产线传送到组对工位，并将需要组对的筒节圆锥体在传输线和侧向导轨的作用下分别传送到筒节组对装置的两侧，用筒节组对装置附带的定位装置实现纵向定位；

2）筒节圆锥体水平定位

启动可升降的滚轮架，利用滚轮架的升降，调节筒节圆锥体使筒节成正圆锥台状，使筒节圆锥台体中心线水平，实现水平定位；

3）筒节圆锥体环向定位

利用滚轮架的旋转，旋转筒节圆锥体，使筒节组对装置两侧的筒节环向处于所需位置，实现环向定位；

4）筒节圆锥台体端面与筒节组对装置中心定位利用对口机的升降功能，使筒节组对装置的中心与筒节圆锥体中心重合，实现中心定位；

5）筒节圆锥体径向、轴向定位

利用筒节组对装置的环向夹紧、轴向拉近机构完成两筒节的夹紧、拉近，实现组对。

上述内、外纵环缝焊接是利用筒节组对装置旋转完成内、外纵环缝焊接。

上述筒节组对装置可为对口机。

上述筒节组对装置的轴向拉近机构具体是液压夹紧拉近装置。

上述内、外纵环缝焊接是组对后焊接。

上述焊接采用埋弧自动焊的焊接方式。

一种筒节斜底罐车罐体的制造工艺改善效果

1）所生产的斜底罐罐体完全符合设计要求，从根本上消除了因工艺方法产生的斜底罐体存在的质量缺陷。

2）筒节环缝焊接时同时进行内外环缝焊接提高效率30％，筒节成型焊接采用单面焊双面成型工艺提高效率50％。

3）筒节环缝组对采用外箍组对方式精度达到2毫米，焊缝成型质量可靠，操作方便灵活、适应性强。

《一种筒节斜底罐车罐体的制造工艺》涉及一种铁道罐车罐体的制造工艺，具体涉及一种筒节斜底罐车罐体的制造工艺。