紫外光刻胶（UV resist）是用紫外光作曝光光源的光刻胶。

一般是指分光感度波长为sao一450nin的近紫外抗蚀剂紫外光刻胶有负性、正性和止一负性两用三类。负性的代表品种是聚乙烯醇肉桂酸醋、环化橡胶系抗蚀剂、止性代表品种是重氦茶酿系抗蚀剂，正负性抗蚀剂是为丁兼顾其既有.卜性又有负性的性能，往往会给全面照顾抗蚀剂应用上带来一些难题，尚未商品化、

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图1是光刻胶输送系统示意图。N2保持胶瓶内有一定的压力。胶从胶瓶中先流到一个缓冲容器中，经过过滤器，由胶泵抽到喷嘴喷出。喷胶的容量由胶泵设置。除此之外，系统还要保证不间断供胶、不产生气泡、易于清洗与易于更换配件等。实际系统的设计比较复杂，还包括一系列的电磁阀（selenoid valve）、压力控制管线等。 。

紫外灯的寿命一般是指当期紫外线强度衰减到起初的70%以下时，认为该紫外灯到达其使用寿命。紫外线灯管有高硼玻璃和石英玻璃之分，由于高硼玻璃的UV254nm紫外线透过率只有50%左右，所以其紫外线灯紫外线辐照强度小，寿命短，一般只有1000小时，其价也就只有石英的三分之一；石英是紫外线透过率最高的材料，普通石英可以透过UV254的80%以上，所以其紫外线强度大，寿命长，杀菌效果好，石英玻璃紫外线灯寿命一般大于6000小时，进口的紫外线灯可以到8000h以上，部分厂家可以达到12000小时。

紫外灯光强在使用过程中之所以会衰减的原因是灯两端的灯丝，由于它的老化，以及使灯管的发乌导致寿命缩短，最新的出现的没有电极的短波紫外灯，其寿命可以达到数万小时，具有强度高，寿命长、节能环保等特点，这是未来的发展方向。