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图1是光刻胶输送系统示意图。N2保持胶瓶内有一定的压力。胶从胶瓶中先流到一个缓冲容器中，经过过滤器，由胶泵抽到喷嘴喷出。喷胶的容量由胶泵设置。除此之外，系统还要保证不间断供胶、不产生气泡、易于清洗与易于更换配件等。实际系统的设计比较复杂，还包括一系列的电磁阀（selenoid valve）、压力控制管线等。 。
