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四氟硅烷,有机硅化合物的合成材料,水泥和人造大理石的硬化剂,氟硅酸及氟化硅的制造,硅的外延生长,等离子蚀刻,太阳能电池,复印机感光筒,非晶硅膜生成,化学气相淀积。