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大功率等离子体表面处理用脉冲电源

2018/06/1973 作者：佚名

导读：大功率等离子体表面处理用脉冲电源，在辉光放电形成的等离子体中，离子轰击阴极（工件）表面将发生一系列的物理、化学现象。离子渗氮、PCVD等都是利用低气压辉光放电进行表面处理的工艺技术。

大功率等离子体表面处理用脉冲电源，在辉光放电形成的等离子体中，离子轰击阴极（工件）表面将发生一系列的物理、化学现象。离子渗氮、PCVD等都是利用低气压辉光放电进行表面处理的工艺技术。

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