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建设工程知识

硅烷法

2018/06/1963 作者：佚名
导读：硅烷法:就是最终用硅烷热解制多晶硅的方法。硅烷有多种制法，目前主流的生产工艺有:硅镁合金法工艺(Komatsu 硅化镁法);氯硅烷歧化工艺(Union Carbide 歧化法);金属氢化物工艺(MEMC公司发明的新硅烷法)三种。

硅烷法:就是最终用硅烷热解制多晶硅的方法。

硅烷有多种制法，目前主流的生产工艺有:硅镁合金法工艺(Komatsu 硅化镁法);氯硅烷歧化工艺(Union Carbide 歧化法);金属氢化物工艺(MEMC公司发明的新硅烷法)三种。

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