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建设工程知识

三极型溅射

2018/06/19108 作者：佚名
导读：热阴极直流溅射(三极型溅射)是借助于热阴极和阳极获得非自持气体放电，气体放电所产生的离子，由在阳极和阴极(靶)之间所施加的电压加速而轰击靶的溅射。

热阴极直流溅射(三极型溅射)是借助于热阴极和阳极获得非自持气体放电，气体放电所产生的离子，由在阳极和阴极(靶)之间所施加的电压加速而轰击靶的溅射。

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