其特征在于:所述基于复合激励方式的压电陶瓷棒状微马达，有两种结构:

1)两个自由度的平面驱动器结构的压电陶瓷棒状微马达，利用一阶或二阶复合振动模态激励，陶瓷棒在两个端面的XZ面和YZ面内实现椭圆运动，其马达的结构是陶瓷棒⑴放入套筒⑵中，套筒⑵壁上嵌有橡胶环⑶，用于陶瓷棒的定位;将钢珠⑷放入套筒⑵上孔中，再放入弹簧⑸，并用螺栓⑹旋入套筒⑵上孔中，给弹簧⑸一个变形力，实现预紧力;定子⑺套入陶瓷棒⑴的另一端，并粘接牢固，便完成了马达的装配;马达驱动的平台分三层，上层⑻上表面是光滑的驱动面，下面是两个平行的导轨，中层⑼是一个"井"字形平台，上面是两个承接上层平台的导轨槽，下面是与上表面垂直的两个平行导轨，下层⑽是基础层，将马达和平台装入支架 ⑾，用螺栓⑿锁紧马达，并且将平台固定在支架上，实现将平台XY面内二维移动的目的;

2)三个自由度的球驱动器结构的压电陶瓷棒状微马达，其陶瓷棒在一阶或二阶复合振动模态下，在两个端面的XZ和YZ面内实现椭圆运动，并在一阶或二阶弯曲振动模态下，在XY内做圆摆运动，本三维运动微马达的陶瓷棒⑴ 放入套筒⑵中，套筒⑵壁上嵌有橡胶环⑶，用于陶瓷棒的定位;将钢珠⑷放入套筒⑵下孔中，再放入弹簧⑸，并用螺栓⑹旋入套筒⑵ 下孔中，使弹簧⑹变形，实现马达定子⑺的预紧力，定子⑺套入陶瓷棒⑴的另一端，并且粘接牢固，便完成了马达的装配;将马达和平台装入支架⑾，用螺栓⑿锁紧马达，并且将聚四氟乙烯环⒀放入支架的上槽中，上面放入大钢球⒁，在合适的激励电源下激励定子的复合振动模态，钢球就在XZ和YZ面内旋转，加上弯曲振动模态，使钢球⒁在XY面内旋转，因此实现了钢球⒁的三维驱动。