两种方法:
用涂色法检验
0级1级平板平台在每边为25㎜平方的范围内不少于25点。 铸铁平板系列(3张)
2级平板平台在每边为25㎜平方的范围内不少于20点。
3级平板平台在每边为25㎜平方的范围内不少于12点。
平面度检验
平面度计算公式:(依JB/T7975-1999标准)
000级:1×(1+d/1000)μm
0 0级:2×(1+d/1000)μm
0级:4×(1+d/1000)μm
1级:8×(1+d/1000)μm
2级:16×(1+d/1000)μm
3级:40×(1+d/1000)μm
(d为对角线mm)(测量温度在20±2℃)