与热导管不同,均热板产品制作上先抽真空再注入纯水,以便能填满所有微结构。充填的介质不用甲醇、酒精、丙酮等,而是使用除气的纯水,就不会有环保问题,并可提升均热板的效能及耐用度。均热板内的微结构主要有两种型态:粉末烧结、多层铜网,两者的效果相同。但粉末烧结的微结构其粉末质量与烧结质量不易控制,而多层铜网微结构施以扩散接合均热板上下之铜片及铜网,其孔径一致性及可控制性较优于粉末烧结的微结构,质量较稳定。较高的一致性可使液体流动较顺畅,进而可大幅缩减微结构的厚度,降低均热板的厚度,业界已有在150W的热传量时3.00mm的板厚。采用铜粉烧结微结构的均热板,因质量不易控制,整体散热模块通常需辅以热导管之设计。
以扩散接合的多层铜网其接合强度与母材具相同强度,因气密性高就不需任何的焊料,在接合的过程中也不会产生微结构阻塞,制成之均热板的质量较佳且耐用时间较长。以扩散接合工法制作后如果孔洞漏气,也可经过重工修复。多层铜网除以扩散使之接合外,在近热源处接合较小孔径铜网之层次状设计,更可使蒸发区纯水补充迅速,整体均热板之循环更顺畅。更有进者将微结构模块化做区域化的设计,可运用于多热源的散热设计。因此,以扩散接合及区域化层次状设计之均热板,大幅增加了单位面积的热通量,传热效果也就优于烧结微结构的均热板。