随着MEMS(Micro Electro Me-chanical System ，略记为MEMS，意为微机电系统)开发的深入，作为MEMS中关键部件的静电电动机的研制越来越受到人们的关注。静电电动机是利用静电为能量源的一种能量转换装置。具有结构简单，空载转速高的优点，但也有功率小，启动难等缺点。目前，各发达国家竞相开发静电电动机并且已经取得了一些阶段性进展。鉴于MEMS在推动国民经济和军事技术发展方面的重要性，我国国防科工委已经把MEMS 列入了"九五"国防预研项目。目前，在航天卫星和医疗器械领域中已经开始尝试用静电电动机来代替传统的电磁型电动机。
