压电驱动器是近年发展起来的新型智能微位移器件,具有体积小、推力大,精度及位移分辨率高等特点,是理想的微位移驱动器。本书阐述了压电堆栈驱动器的工作原理,对PSt 1000/16/60vs25型压电堆栈驱动器的输出位移和迟滞特性进行了测试分析,研究了直圆型柔性铰链的力学特性,井揭示了其设计参数对直圆型柔性铰转动刚度的影响规律;基于直圆型柔性铰链分别设计压电式一维微动平台、微夹持器和微位移放大机构; 研究了S型柔性机构的力学特性,并揭示其设计参数对S型柔性机构刚度的影响规律;基于S型柔性机构设计压电式一维微动平台和压电式二维微动平台;研究了直角柔性铰链的力学特性,并揭示了直角柔性铰链的设计参数对其刚度的影响规律;基于直角柔性铰链设计压电型步进式直线驱动器;分别建立上述微动机构的动力学模型和固有频率模型,利用有限元软件对微动机构进行 仿真分析。
本书为压电式微动机构的研究提供了基础,具有一定的工程应用价值和理论指导意义。