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电阻率与晶向有关。
对于各向异性的晶体，电导率是一个二阶张量，共有27个分量。
特别的，对于Si之类的具有立方对称性的晶体，电导率可以简化为一个标量的常数(其他二阶张量的物理量都是如此)。
电阻率的大小决定于半导体载流子浓度n和载流子迁移率μ:ρ=1/ nqμ。
对于掺杂浓度不均匀的扩散区的情况，往往采用平均电导率的概念;在不同的扩散浓度分布(例如高斯分布或余误差分布等)情况下，已经作出了平均电导率与扩散杂质表面浓度之间的关系曲线，可供查用。
