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正方形范德堡测试结构中（图4），正中是需要测量的正方形薄层。测量时，从任一边的两个欧姆接触点通入电流I,从对边的两个欧姆接触点测量电压U。由于图形的高度对称,若在此局部范围内薄层电阻的平面分布均匀，则薄层电阻值Rs为通过对换电压和电流测试点，并用测得的数据求出平均值就能消除因图形不对称所引起的误差。
正方形范德堡测试结构中（图4），正中是需要测量的正方形薄层。测量时，从任一边的两个欧姆接触点通入电流I,从对边的两个欧姆接触点测量电压U。由于图形的高度对称,若在此局部范围内薄层电阻的平面分布均匀，则薄层电阻值Rs为通过对换电压和电流测试点，并用测得的数据求出平均值就能消除因图形不对称所引起的误差。
