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建设工程知识

汞灯光谱

2018/06/19336 作者：佚名
导读： 横坐标是波长，纵坐标是光幅(强度)。关于X光，汞灯光谱中包含有X光，但强度已经很小了，达不到应用水平。其实可以看到，KrF,ArF的强度也不大，所以在早期i线的光刻机上用的是汞灯，而DUV的光刻机用的是准分子激光。实验室中的汞灯一般为线光谱，主要谱线波长为: 。

汞灯光谱图横坐标是波长，纵坐标是光幅(强度)。

关于X光，汞灯光谱中包含有X光，但强度已经很小了，达不到应用水平。其实可以看到，KrF,ArF的强度也不大，所以在早期i线的光刻机上用的是汞灯，而DUV的光刻机用的是准分子激光。

实验室中的汞灯一般为线光谱，主要谱线波长为: 。

*文章为作者独立观点，不代表造价通立场，除来源是“造价通”外。
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