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汞灯光谱

2018/06/19306 作者:佚名
导读: 横坐标是波长,纵坐标是光幅(强度)。关于X光,汞灯光谱中包含有X光,但强度已经很小了,达不到应用水平。其实可以看到,KrF,ArF的强度也不大,所以在早期i线的光刻机上用的是汞灯,而DUV的光刻机用的是准分子激光。实验室中的汞灯一般为线光谱,主要谱线波长为: 。

汞灯光谱图横坐标是波长,纵坐标是光幅(强度)。

关于X光,汞灯光谱中包含有X光,但强度已经很小了,达不到应用水平。其实可以看到,KrF,ArF的强度也不大,所以在早期i线的光刻机上用的是汞灯,而DUV的光刻机用的是准分子激光。

实验室中的汞灯一般为线光谱,主要谱线波长为: 。

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