扩散硅压力变送器

20世纪90年代中期，美国Icscnsor，公司,Nova公司应用硅品石和硅品片益合两项尖端科技生产了新型扩散硅压力传感器并开发出具有精度高、重复性小、抗腐蚀的扩散硅压力变送器

过程压力通过隔离膜片、密封硅油传输到扩散硅膜片上，同时参考端的压力（大气压）作用于膜片的另一端。这样膜片两边的压差产生一个压力场，使膜片的一部分压缩。另一部分拉伸，在压缩区和拉伸区分别有两个应变电阻片，以感受压力引起的阻值的变化，从而将压力信号转换为电信号.扩散硅在低温零度以下、高温85℃以上难以正常使用，也不适用于20MPa以上的高压。

电容薄膜式压力变送器

电容薄膜式绝对压力变送器自20世纪80年代诞生至今己有20多年历史，由于它精度高，耐腐蚀，耐污染，稳定性好，是冈内外公认的检渊低真空压力的理想仪表。美国的M.K.S公司是全球生产电容式压力变送器的主要生产厂家，涉及民用工业的各个领域，并在航天工业、核工业等军事工业中发挥着独特的作用。这种压力变送器是利用弹性薄膜在压差作用下产生压变引起电容变换的原理制成的，它由检测部分和转换电路组成.检测部分有真空腔和检测腔两个腔体。真空腔为全密封结构，经质谱检漏仪检漏合格后，通过长时间排气，最后将排气管密封而形成，井备有消气剂以消除残余气体，长期保持高真空.固定极板位于真空腔中，由极板引出线引至腔外.检测膜片置于高真空的真空腔及连接低真空待测系统的检测腔之间，检测膜片为可动极板，其与固定极板形成一个平板电容器，有一定的电容（J.。被测的低真空压力通过检测孔进人检测腔，检测膜片产生挠曲，改变了其与固定极板的距离，电容值也随之改变。不同的低真空压力值决定不同的电容值。最后电容信号被输送到电路转换部分，电路转换部分将电容信号通过变换、整理、放大等环节，输出一个标准电压或电流信号，它与真空压力成正比。该类型压力变送器为高灵敏度差压测量，零点稳定。动态响应特性好，适应性强，一般适用于静压力的测量。