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数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准
而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专
用仪器。仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测
量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到
计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。
