测量范围 电阻率:10-4~105 Ω.cm(可扩展);

方块电阻:四探针测试仪

电导率:10-5~104 s/cm;

电阻:10-4~105 Ω;

可测晶片直径 140mmX150mm(配S-2A型测试台);

200mmX200mm(配S-2B型测试台);

400mmX500mm(配S-2C型测试台);

恒流源 电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档，各档电流连续可调

数字电压表 量程及表示形式:000.00~199.99mV;

分辨力:10μV;

输入阻抗:>1000MΩ;

精度:±0.1% ;

显示:四位半红色发光管数字显示;极性、超量程自动显示;

四探针探头基本指标 间距:1±0.01mm;

针间绝缘电阻:≥1000MΩ;

机械游移率:≤0.3%;

探针:碳化钨或高速钢Ф0.5mm;

探针压力:5~16 牛顿(总力);

四探针探头应用参数 (见探头附带的合格证)

模拟电阻测量相对误差

( 按JJG508-87进行) 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字

整机测量最大相对误差 (用硅标样片:0.01-180Ω.cm测试)≤±5%

整机测量标准不确定度 ≤5%

计算机通讯接口 并口

标准使用环境 温度:23±2℃;

相对湿度:≤65%;

无高频干扰;

无强光直射;