氯硅烷;chlorosilane
硅烷SiH4中的氢原子被氯原子取代后，总称为氯硅烷，含氯量低时为气体，较高时为液体，无色或黄色，
通式为HnSiCl4-n;n=0,1,2,3;
氯硅烷能与含活泼氢的化合物进行激烈反应，如与水、醇、酚、硅醇、有机酸等，放出氯化氢。
与有机金属化合物反应，氯原子被相应的有机基取代，生成有机氯硅烷或有机硅烷。
可由硅粉与氯化氢于290~400℃反应来制取，也可由硅粉与氢和氯化氢的混合物，
在氯化亚铜存在下，于250℃左右反应来制取。
用作硅外延片生产过程中的硅源及制备有机氯硅烷的原料。
此外，四氯化硅(SiCl4)和三氯硅烷(HSiCl3)是提取高纯度硅的的中间产物。分馏后，可以获得99.999999999%(十一个9)纯度的硅。
