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有两种常用的合成方法。
方法一:三氯氢硅与甲醇醇解反应。
方法二:金属硅粉与甲醇在铜催化剂下一步合成。该合成路线绿色环保。目前工业化生产的有湖北新蓝天新材料股份有限公司、武大有机硅等。