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三硅化钨又名三硅化五钨,是一种四方晶体,它的物理性质如下所示:分子式:W5Si3,分子量:1003.77,熔点2320℃,约在1450℃时分解,在空气中于500~700℃开始氧化,溶于HNO3+HF混合酸中。