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"前级泵"这个名词在真空机组中见的比较多，主要是帮助主泵罗茨真空泵启动，罗茨真空泵一般情况下不能在常压下启动，如果要启动电机功率相当大，而且对泵的运行有伤害。而且通过配用不同的前级泵可以运用到不同的环境。如配用水环式真空泵，就可以抽除含有大量可凝性蒸气和带有一定腐蚀性的气体（通过水稀释腐蚀性气体浓度）。常见的前级泵有：水环式真空泵、旋片式真空泵，立式无油真空泵、往复式真空泵、H、2H滑阀式真空泵等。通过选用不同的前级泵可以得到不同的真空度和抽气速率。
