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用于气体采集的仪器。应用原理:在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽,但其抽除残余气体的能力低,时间长,而且所残余气体还是工件的污染源,从而使产品的产量和质量受到影响。超低温捕集泵则是解决问题的上佳选择 。