由物理学知识可知，在忽略边缘效应的情况下，平板电容器的电容量为 
式中，
ε——极板间介质的相对介电系数，在空气中，ε=1；
A——极板的重合面积，m²；
δ——两平行极板间的距离，m。
上式表明，当被测量δ，A或ε发生变化时，都会引起电容的变化。如果保持其中的两个参数不变，仅改变另一个参数，就可以把该参数的变化变换为单一电容量的变化，再通过配套的测量电路，将电容的变化转换为电信号输出。根据电容器参数变化的特性，电容式传感器可分为极距变化型、面积变化型和介质变化型三种，其中极距变化型和面积变化型的应用较广泛。
