电容传感器的特点:电容量小，变化更小(PF级)。理论上，交流电桥可作为电容传感器的测量电路，但由于电容及变化太小，不易实现。包括(1)调频电路(2)运算放大器式电路(3)二极管双T形交流电桥(4)脉冲宽度调制电路

特点:

(1)转换电路生成频率信号，可远距离传输不受干扰。

(2)具有较高的灵敏度，可以测量高至0.01μm级位移变化量。

(3)但非线性较差，可通过鉴频器(频压转换)转化为电压信号后，进行补偿。

运算放大器式电路运算放大器要求:

特点:

(1)解决了单个变极板间距离式电容传感器的非线性问题

(2)要求Zi及放大倍数足够大

(3)为保证仪器精度，还要求电源电压的幅值和固定电容稳定

(4)由于Cx变化小，所以该电路实现起来困难

(5)输入阻抗高(避免泄漏)、放大倍数大(接近理想放大器)

正负半周分析:

正半周:C1充电，电流顺时针; C2放电，电流逆时针

负半周: C2充电，电流逆时针; C1放电，电流顺时针

若C1 = C2，则电流抵消，若C1 ≠C2，则RL有信号输出

几点说明:

(1)该电路电源频率Mhz级，电源电压几十伏，电源的稳定性对输出直接产生影响。

(2)当电容以PF级变化时，输出以V级变化。

如图: