真空阀门材料及选件:不锈钢或铝制阀门,手动/电动/气动操作,装配有阀门位置指示装置,选配限位开关;阀体上可以集成真空规管接口和粗抽接口。
接口形状及尺寸:圆形或方形;接口尺寸从KF-16到900mm,1英寸到36英寸,是世界上极少的几个可以提供超大口径真空插板阀的厂家之一。
法兰规格:ANSI,ISO,JIS或Conflat。
标准的真空插板阀运行250000次无须维护,更有百万次使用无须维护的版本可以提供。
所有的真空插板阀都可以在断电情况下迅速关闭;气动的阀门即使在同时断电断气的情况下,也可是手动定位。
真空阀门在出厂前都经过了氦质谱检漏,漏率小于2×10-9scc/s。
阀板两侧允许最大3个大气压力的压差。也提供更高压力的版本。
维护简单,5分钟内可以更换全部部件