品牌: | 3dfamily | 型号: | MMF1086 | 操作方式: | 自动 |
功能: | 检测、观察、分析 | 精度 : | 1nm | ||
其它型号: | MMF654 MMF875 | ||||
1、非接触式测量:避免物件受损。
2、三维表面测量:表面高度测量范围为1nm-200μm。
3、多重视野镜片:方便物镜的快速切换。
4、纳米级分辨率:垂直分辨率可以达到0.1nm。
5、高速数字信号处理器:实现测量仅需要几秒钟。
6、扫描仪:采用闭环控制系统。
7、工作台:气动装置、抗震、抗压。
8、测量软件:基于windows 操作系统的用户界面，强大而快速的运算。
机型 | MMF1086 | |
工作台 | 尺寸 | 350mm×350mm |
倾斜度 | ±3 ° | |
测量行程 | X:200mm Y:200mm | |
Z轴行程 | 100mm | |
运动方式 | 自动，马达驱动 | |
扫描速度 | 30μm/sec | |
垂直分辨率 | 0.1nm | |
CCD | 黑白CCD，640×480 像素 | |
物镜安装架 | 手动5个位移的可定位夹具 | |
镜头选配 | 镜头:5×、10×、20×、50× | |
1、TFT产业
2、半导体
3、MEMS
4、高校科研
5、精密加工
水准测量器、旋转台、CCD、镜头、LED光源、扫描控制盒、PZT传感器、光源控制器等
