迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并隔离直至气体散尽，建议应急处理人员自给式呼吸器，穿化学防护服。切断气源，喷氨水或其它稀碱液体中和，注意收集并处理废水。然后抽排(室内)或强力通风(室外)。如有可能，将残余气或漏出气用排风机送至水洗塔或与塔相连的通风橱内。漏气容器不能再用，且要经过技术处理以清除可能剩下的气体。

废弃物处置方法:建议废料用过量石灰水中和，析出的沉淀填埋处理或回收利用，上清液稀释后排入下水道，回收氟化氢并使之循环使用。

呼吸系统防护:空气中浓度超标时，必须佩戴防毒面具或供气式头盔。紧急事态抢救或逃生时，建议佩带自给式呼吸器。

眼睛防护:戴化学安全防护眼镜。

防护服:穿工作服(防腐材料制作)。

手防护:戴橡皮手套。

其它:工作后，淋浴更衣。单独存放被毒物污染的衣服，洗后再用。保持良好的卫生习惯。

皮肤接触:脱去污染的衣着，立即用水冲洗至少15分钟。或用2%碳酸氢钠溶液冲洗。若有灼伤，就医治疗。

眼睛接触:立即提起眼睑，用流动清水冲洗10分钟或用2%碳酸氢钠溶液冲洗。就医。

吸入:迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。给予2-4%碳酸氢钠溶液雾化吸入。呼吸停止时，立即进行人工呼吸。就医。

食入:患者清醒时给饮牛奶或蛋清。立即就医。

灭火方法:不燃。切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。雾状水。

由二氧化硅溶解于氢氟酸中或混和石英粉、氟化钙和浓硫酸后加热而得。也可从磷肥厂中分解磷矿时逸出的四氟化硅气体用水吸收而得。