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1.湿法该方法是将锂盐溶于无水氢氟酸中形成LiF·HF溶液,然后通入PF5气体进行反应生产六氟磷酸锂结晶。经分离,干燥得到产品。工艺流程如下:2.干法 该方法是将LiF用无水HF处理,形成多孔LiF,然后通入PF5气体进行反应,从而得到产品。3.溶剂法 该方法是使锂盐与氟磷酸的碱金属盐、铵盐或有机胺盐在有机溶剂中反应,结晶,从而制取六氟磷酸锂产品。