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片状氧化铝概述

2018/06/19108 作者:佚名
导读: 本发明提供一种基本上无团粒、粉末或碎片的新型片状氧化铝。本产品证实对用在微电子应用方面的基片的抛光非常有利,同时也揭示了制备这类产品的方法。

本发明提供一种基本上无团粒、粉末或碎片的新型片状氧化铝。本产品证实对用在微电子应用方面的基片的抛光非常有利,同时也揭示了制备这类产品的方法。

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