金属蒸气凝结在基体材料上而形成的覆层。采用真空蒸发方法时，在10(~10)帕压力下进行蒸发，利用通电加热，在较粗的钨丝上预浸一层厚铝，使铝蒸气源沉积在冷的工件表面上。50年代初，这一方法已用于制造大口径天文望远镜所需的反射镜面，现代主要应用于电子器件、陶瓷和压电晶体的电极表面和反光镜面等,也可在纸塑料和钢带上生成铝、锌、金、银等覆层另一种方法是溅射,即在10(~10(帕真空中,气体在电极间产生放电现象，带正电的气体离子在 100~10000电子伏下轰击阴极,形成金属原子的气相束流，沉积在冷的或加热的工件表面上，形成极薄但致密的金属覆层。磁控管溅射技术已能在大表面的工件上较快地沉积出较匀的金属覆层，如在塑料上溅射铬，可用于汽车工业。离子镀方法发展很迅速。采用这种方法时，将待镀的试样作为阴极，外加电位3000~5000伏，用电阻加热、电子束加热或感应加热，产生带正电的金属蒸气，在辉光放电区变为正离子，能以比溅射粒更高的能量覆盖到工件表面上。气相沉积覆层方法不仅用于金属，还适用于无机物和塑料的覆层。