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1.离子蚀刻或离子铣削:Ar离子倾斜轰击工件，使工件表面原子逐个剥离。
2.离子溅射沉积:Ar离子倾斜轰击某种材料的靶，靶材原子被击出后沉淀在靶材附近的工件上，使之表面镀上一层薄膜。
3.离子镀或离子溅射辅助沉积:它和离子溅射沉积的区别在于同时轰击靶材和工件，目的是为了增强膜材与工件基材之间的结合力。
4.离子注入:较高能量的离子束直接轰击被加工材料，使工件表面层含有注入离子，改变了工件表面的化学成分，从而改变了工件表面层的物理、力学和化学性能，满足特殊领域的要求。
