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Mattox于1964年首先公开了所发明的离子镀技术。它是在蒸发镀膜的同时,用来源于等离子体的离子轰击膜层。多种蒸镀离子镀技术在70年代相继实用化。其中有空心阴极离子镀、热丝电弧离子镀和阴极电弧离子镀。离子镀在工业上主要用于在高速钢刀具上镀制TiN膜,作为耐磨硬质膜,以及在不锈钢制品上镀制五N膜,作为仿金装饰膜,并多采用阴极电弧蒸发离子镀技术。离子镀膜层的成核和生长所需的能量，不是靠加热来获得的，而是靠离子加速方式来激励的。
参考文献:氮化碳纳米复合涂层摩擦磨损和耐水蚀研究
