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二极型枪是最简单的一种离子枪。工作气体一般为冠气,也可以是其池气体,气压大约为珍一).托到几托,在阴、阳极之间加直流高压,出极表面场致发射电子,使离化室(阴极与阳极之间的间絮)中的冠分子电离成正离予,并在阴极的小孔处形成忽子束 。
二极型离子枪结沟简单,工作气压较高,离化率低,束流较小且难以调节,离子束的能量也较低。二极型离子枪主要用于离子刻蚀、表面清洁等,也可以作为离子辅助镀膜中的离子源 。
