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空心阴极枪工作气体为氩气。工作对阴极(空心钽管)的温度达2300~2400°K,产生热电子发射,氢气在枪口处被电离。等离子体由电场和聚焦磁场引出,电子经偏冷后打在坩埚上,使坡镀材料容融蒸发,与氩离子碰撞后电离并镀于基片上。空心阴极枪电压不高,电流很大,能在金属基片上镀金属膜或用反应淀积技长镀制金属化合物膜。这种枪很适合于镀仿金装饰膜和硬质耐磨膜 。
