Schott 熔石英LithosilTM Q 的质量分为六个等级:
LithosilTM Q0 在3维有很好的光学均匀性,在所有空间方向均没有条纹,一般用于高端需求,如棱镜,透镜等;
LithosilTM Q1在一维空间方向上具有很好的均匀性,没有条纹,一般用于透镜,窗口和Wafer中;
LithosilTM Q2 没有特殊要求均匀性,一般用于可见光谱段和用于对透过率要求不高的紫外波段;
LithosilTM QT 对条纹和均匀性都没有特别要求,这个等级的熔石英推荐技术性的应用。
LithosilTM Q0/1-E193
LithosilTM Q0/1-E248
这些等级是用于准分子光学,分别是用于193nm波长和248nm波长对应的LithosilTM Q0和LithosilTM Q1等级,这些等级具有很高的激光损伤阈值,高的紫外光透过率,很低的体缺陷和荧光,这些等级是准分子激光应用和激光加工中光学材料的首选。