光学薄膜按应用分为反射膜、增透膜、滤光膜、光学保护膜、偏振膜、分光膜和位相膜。常用的是前4种。光学反射膜用以增加镜面反射率,常用来制造反光、折光和共振腔器件。光学增透膜沉积在光学元件表面,用以减少表面反射,增加光学系统透射,又称减反射膜。光学滤光膜用来进行光谱或其他光性分割,其种类多,结构复杂。光学保护膜沉积在金属或其他软性易侵蚀材料或薄膜表面,用以增加其强度或稳定性,改进光学性质。最常见的是金属镜面的保护膜。
主要内容
一类重要的光学元件。这一领域主要有以下几方面的内容:
① 薄膜的光学性质、力学性质以及其他有关性质的研究;
② 薄膜的生长、薄膜的结构以及它们对薄膜性质的影响;
③光学薄膜元件的设计、制备及其性能的测试等。