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建设工程知识

抛光垫作用

2018/06/19201 作者：佚名
导读：①把抛光液有效均匀地输送到抛光垫的不同区域； ②将抛光后便化学反应充分进行;的反应物、碎屑等顺利排出，达到去除效果； ③维持抛光垫表面的抛光液薄膜, 以便化学反应充分进行； ④保持抛光过程的平稳、表面不变形, 以便获得较好的晶片表面形貌；

①把抛光液有效均匀地输送到抛光垫的不同区域；

②将抛光后便化学反应充分进行;的反应物、碎屑等顺利排出，达到去除效果；

③维持抛光垫表面的抛光液薄膜, 以便化学反应充分进行；

④保持抛光过程的平稳、表面不变形, 以便获得较好的晶片表面形貌；

*文章为作者独立观点，不代表造价通立场，除来源是“造价通”外。
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