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①把抛光液有效均匀地输送到抛光垫的不同区域；
②将抛光后便化学反应充分进行;的反应物、碎屑等顺利排出，达到去除效果；
③维持抛光垫表面的抛光液薄膜, 以便化学反应充分进行；
④保持抛光过程的平稳、表面不变形, 以便获得较好的晶片表面形貌；
