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①硬度-抛光垫的硬度决定保持面形精度的能力；
②压缩比-压缩比反应抛光垫的抗变形能力；
③涵养量-抛光垫的涵养量是单位体积的抛光垫存储抛光液的质量；
④粗糙度-表面粗糙度是抛光垫表面的凸凹不平程度,；
⑤密度-密度是抛光垫材料的致密程度；
