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建设工程知识

激光椭偏仪优点和缺点

2018/06/19192 作者：佚名
导读：■ 优点：相对于光谱型椭偏仪，激光单波长椭偏仪比较简单，由于不需要单色仪，四分之一玻片也可以根据波长固定，光学元件也可以针对特定波长进行设计，所以价格相对便宜，同时测量精度较高。 ■缺点：对多层膜分析能力不足，不如光谱型椭偏仪。

■ 优点：相对于光谱型椭偏仪，激光单波长椭偏仪比较简单，由于不需要单色仪，四分之一玻片也可以根据波长固定，光学元件也可以针对特定波长进行设计，所以价格相对便宜，同时测量精度较高。

■缺点：对多层膜分析能力不足，不如光谱型椭偏仪。

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