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SF6纯品基本无毒。但产品中如混杂低氟化硫、氟化氢,特别是十氟化硫时,则毒性增强,在一些金属物的参与下,水在200摄氏度以上可使SF6发生水解反应,生成强腐蚀性的HF和有毒的S0F2、S02F2、SF4和SOF4等低价硫氟化物,如果气体含量中水分较高,在高温拉弧的作用下,还将分解产生SO2和HF,这些有毒物质都会对人体造成巨大的伤害!