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1.遵循标准:GB/T 11446.1-1997 《电子级水》
2.基本处理流程:
1)原水à预处理à双级RO反渗透à混床à产水
2)原水à预处理à双级RO反渗透àEDIà产水
3)原水à预处理à双级RO反渗透àEDIà抛光床à产水
3.适用范围:
适于处理生产显像管、集成电路芯片、单晶硅半导体、液晶显示器、计算机硬盘、印刷电路板等工艺所需的纯水和超纯水。