美国联邦标准 FED-STD-209E（洁净室等级标准）

国际标准 ISO14644-1:1999(E)（洁净室等级标准）

国家标准 GB50073-2001 (洁净厂房设计规范)

关于ISO：

ISO 为全球各国标准化团体（ISO会员团体）的联合会。其国际标准工作一般是由ISO各技术委员会执行，每个会员团体若对技术委员会的某一课题感兴趣，均有权作为此技术委员会的代表。任何与ISO保持联系的国际组织，无论是政府的还是非政府的组织，同样可参加此项工作。ISO与国际电工委员会（IEC）在电气技术标准化方面进行紧密合作。

国际标准ISO14644-1由ISO/TC209洁净室及相关受控环境技术委员会提出。

ISO14644在洁净室及相关受控环境的总标题下，由多个部分组成：

（1）ISO14644-1 空气洁净度等级划分

（2）ISO14644-2 为认证ISO14644-1的 连续的相符性的测试和监测技术要求

（3）ISO14644-3 测试方法

（4）ISO14644-4 设计建造启动

（5）ISO14644-5 运行(Operations)

（6）ISO14644-6 术语和定义

（7）ISO14644-7 分离装置(洁净空气罩、手套箱、分离器和微循环设备

（8）ISO14644-8 分子污染

（9）ISO14644-9 洁净化学品（液体）